【通知】上海市科学技术委员会关于发布2025年度基础研究计划“集成电路”项目申报指南的通知

主要观点总结

上海市科学技术委员会发布2025年度基础研究计划“集成电路”项目申报指南，旨在深入实施创新驱动发展战略，加快建设具有全球影响力的科技创新中心。项目分为多个专题，包括光学刻蚀、先进器件与材料、人工智能赋能集成电路、先进量测、三维集成、系统与计算等，每个专题下设有多个研究方向，涉及高功率极紫外光刻、高精度光谱研究、高功率激光驱动X射线光源研究、亚20nm纳米孔/柱阵列的电子束光刻跨尺度作用及耦合机制研究、嵌段共聚物界面协同缺陷修复研究等。项目执行期限为2025年10月01日至2027年09月30日，经费额度为定额资助，拟支持不超过2个项目，每项资助额度100万元或50万元，具体视项目而定。申报单位需为注册在本市的法人或非法人组织，并具备相应能力，项目经费预算编制应真实、合理。评审方式包括第一轮通讯评审和第二轮见面会评审，项目实施将设置“里程碑”节点进行检查。

关键观点总结

关键观点1: 上海市科学技术委员会发布2025年度基础研究计划“集成电路”项目申报指南

旨在深入实施创新驱动发展战略，加快建设具有全球影响力的科技创新中心。

关键观点2: 项目分为多个专题，包括光学刻蚀、先进器件与材料、人工智能赋能集成电路、先进量测、三维集成、系统与计算等

每个专题下设有多个研究方向，涉及高功率极紫外光刻、高精度光谱研究、高功率激光驱动X射线光源研究等。

关键观点3: 项目执行期限为2025年10月01日至2027年09月30日

经费额度为定额资助，拟支持不超过2个项目，每项资助额度100万元或50万元，具体视项目而定。

关键观点4: 申报单位需为注册在本市的法人或非法人组织，并具备相应能力

项目经费预算编制应真实、合理。

关键观点5: 评审方式包括第一轮通讯评审和第二轮见面会评审

项目实施将设置“里程碑”节点进行检查。

免责声明