| 东方晶源微电子科技(北京)有限公司专注于集成电路领域良率管理,自主研发出计算光刻软件、电子束缺陷检测设备、关键尺寸量测设备等多款产品。承担三项国家科技02重大专项及一项工信部工业强基专项,被评定为国家级“专精特新”小巨人企业。 |
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