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大连理工大学彭孝军院士团队JACS：突破纳米光刻技术瓶颈：新型锆氧簇光刻胶实现亚9纳米线宽与超低边缘...

高分子科学前沿  · 公众号  · 化学  · 2026-06-22 19:39
    

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