主要观点总结
本文主要介绍了气体检测器在半导体工厂中的重要作用,包括其分类、选择、安装位置、报警值设定、维修保养等。气体检测器是侦测环境安全的重要仪器,特殊气体泄漏的预防依赖于特殊气体供应系统管路的安全和气体检测器的使用。
关键观点总结
关键观点1: 气体检测器的种类和原理
气体检测器根据检测方法和功能的不同,可以分为多种类型,如触媒燃烧型、金属氧化物半导体型、场效晶体管型、光纤型、电化学型及石英振动型等。每种类型都有其独特的原理和应用范围。
关键观点2: 气体检测器的选择
在选择气体检测器时,需要考虑气体的性质、检测浓度范围、厂务和生产制程的硬件设备、生产工艺条件、被检测的环境等因素。还需要参考气体检测器厂商提供的选点准则,以确保选择的仪器能够适应实际的应用环境。
关键观点3: 气体检测器的安装位置选择
安装气体检测器的位置选择非常重要,需要考虑气体泄漏部位、扩散范围、危险性等因素。此外,还需要参考气体检测器厂商提供的选点准则,最终确定安装位置。
关键观点4: 气体检测器的报警值设定
报警值的设定分为Alarm-1(Hi)和Alarm-2(Hi Hi)两个等级。Alarm-1的设定是根据平均阈值(TLV-TWA)设定的,而Alarm-2的设定值是Alarm-1的2倍。当报警触发时,相关的报警灯会闪烁,并启动广播通知相关人员撤离。
关键观点5: 气体检测器的维修保养
气体检测器需要定期进行维修保养,包括常见故障排除、功能检查、警报设定值检查、警报装置检查等。此外,还需要更换零配件、电解液、清洗监测器、电池及电源等。
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