清华团队攻克EUV光刻胶瓶颈，用聚碲氧烷实现18nm线宽新纪录，为下一代EUV光刻胶设计奠定框架

主要观点总结

清华大学许华平团队研发出基于聚碲氧烷的新型光刻胶，具有高的极紫外吸收率和能量利用率，能够满足理想光刻胶配方的所有标准。该成果发表在《Science Advances》上。此外，文章还介绍了极紫外光刻技术对光刻胶的综合性能和随机缺陷抑制的要求，以及许华平团队在此领域的贡献。

关键观点总结

关键观点1: 清华团队成功研发新型光刻胶

聚碲氧烷光刻胶具有高极紫外吸收率和能量利用率，实现了理想光刻胶配方的所有标准。

关键观点2: 聚碲氧烷光刻胶的特点

聚碲氧烷光刻胶采用单组份小分子聚合而成，具有极简的设计，实现了高灵敏度和低线边缘粗糙度。与传统的化学放大光刻胶或金属氧化物光刻胶相比，其结构和合成方法更简单，并省去了烘烤步骤。

关键观点3: 极紫外光刻对光刻胶的要求

极紫外光刻对光刻胶的综合性能和随机缺陷抑制提出了严格的要求，理想的配方应满足均质化系统、高极紫外光吸收率、高效利用吸收的极紫外能量、超小型结构单元等标准。

关键观点4: 许华平团队的贡献

许华平团队通过利用聚碲氧烷的独特分子结构，成功满足了理想光刻胶的所有标准。该团队的研究为下一代极紫外光刻材料的发展提供了融合高吸收元素碲、主链断裂机制与材料均一性的光刻胶设计路径。

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