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专家解读:特种气体疑难杂症全知道

洁净工程联盟  · 公众号  · 科技自媒体  · 2025-07-29 11:20
    

主要观点总结

本文主要包含关于气体侦测、气体处理和气体供应等问题的问答,涵盖了硅烷、氢气、氯气、三氯化硼等气体的处理和使用情况,以及关于气体供应系统和环境事故排风的设计和处理等问题的讨论。

关键观点总结

关键观点1: 气体侦测器设置

对于硅烷和氢气的混合气体,需要根据气体的性质和浓度设置侦测器,业内一般硅烷气柜里会放硅烷探头比较多。同时,需要考虑气体分层的情况,氢气测不测要根据实际情况,对于高浓度组分应优先探测。

关键观点2: 混合气体侦测

对于混合气体,一般只侦测其中一种成分,不会同时侦测多种气体。专家建议,对于硅烷和氢气的混合气,可以探测硅烷为主。但是也有专家提出,ppm级别的测氢气比较多,百分比级别浓度的测硅烷。

关键观点3: 环境事故排风和气柜排风处理

环境事故排风和气柜排风必须接到处理系统。对于氯气气瓶间的环境事故排风,必须接到酸雾塔进行处理,因为氯气属于剧毒气体。

关键观点4: 特气供应系统设计

特气供应系统包括大宗气体和特气的供应。特气系统需要提供供气管道、配套吹扫管道的安装及调试,提供气柜、设备的安装调试,提供车间气体侦测器、报警器的安装与调试等。

关键观点5: 距离使用点的距离要求

对于BCL3和氯气气瓶柜距离使用点的距离,需要根据实际情况和设计要求来确定。BCL3需要加热,距离使用点越近越好,而氯气则没有具体限制。


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