屹唐股份 | 深度：前道设备隐形冠军，平台化布局去胶、RTP、刻蚀设备

主要观点总结

东吴机械研究团队对屹唐股份进行了详细的分析，关注其作为前道设备隐形冠军，在平台化布局去胶、RTP、刻蚀设备方面的表现。该公司在干法去胶设备技术积累深厚，全球市占率第二，RTP设备技术先进，市场份额位居全球第二，并成功布局刻蚀设备，挤入全球前十。公司股权结构清晰，国资背景突出，核心团队国际化背景深厚，业绩稳步增长，研发投入持续，在核心设备领域持续投入。东吴机械团队认为，公司去胶设备与快速热处理设备业务领先，且干法刻蚀和等离子体表面处理设备有望放量，给予“增持”评级。

关键观点总结

关键观点1: 平台化布局三大设备平台，国产替代与国际化双轮驱动

屹唐股份专注于集成电路前道核心装备的研发与制造，产品广泛应用于先进晶圆制造工艺，客户涵盖全球领先的集成电路制造企业。公司已成长为全球前道设备领域具有代表性的中国企业。

关键观点2: 干法去胶设备技术积累深厚，全球市占率第二

公司干法去胶产品具备工艺窗口宽、颗粒污染小、成本结构优等显著特点，广泛应用于晶圆制造前道去胶工艺环节，并形成完整产品谱系。2023年，公司干法去胶设备以34.60%的全球市场份额位居全球第二。

关键观点3: 快速热处理设备（RTP）技术先进，市场份额位居全球第二

公司RTP设备采用晶圆双面加热、氩气水壁电弧灯与闪光灯退火等核心技术，能够有效控制先进制程中的热应力和图形保形性问题。2023年，公司RTP设备以13.05%的市场份额位居全球第二。

关键观点4: 平台化技术布局刻蚀设备，挤入全球前十

公司干法刻蚀和等离子体表面处理产品成功进入多家国内外头部客户供应链，具备强适配能力与国产替代潜力。2023年，公司以0.21%的市占率位列全球干法刻蚀设备市场第九，具备量产能力。

关键观点5: 国资控股+产业资本协同，核心团队国际化背景深厚

公司股权结构清晰，国资背景突出，团队国际化程度高，研发体系完善且核心人员稳定，在先进设备国产化和全球市场拓展中保持竞争力。