南京原子制造研究所微纳加工与测试平台——开放服务简介

主要观点总结

南京原子制造研究所和上海昂维科技有限公司提供科研服务咨询，包括电子束光刻、紫外光刻、电子束蒸镀、超快电镜等加工、检测与测试设备。研究所建立了微信群以加强交流，并提供技术咨询和预约服务。

关键观点总结

关键观点1: 南京原子制造研究所微纳加工与测试平台介绍

平台配备了先进电子束光刻系统、紫外光刻系统、电子束蒸镀仪等设备，并拥有一支经验丰富的专业技术支持团队，是进行科学研究和小试研发的理想平台。

关键观点2: 核心设备介绍

研究所的核心设备包括RAITH EBPG 5150电子束光刻系统、紫外光刻系统、电子束蒸镀系统、原子层沉积系统、微波等离子体清洗机等。

关键观点3: 测试设备与技术咨询

研究所提供低温探针台、任意波形发生器、示波器、Fs-Pro半导体参数测试仪等测试设备，并承接小试研发、委托加工和技术咨询等专属定制服务。

关键观点4: 上海昂维科技有限公司的服务

公司提供二维材料单晶和薄膜等耗材、器件和光刻掩膜版定制等微纳加工服务，以及各种测试分析。