创新突破！利用自动化转移设备实现高品质石墨烯批量化转移

主要观点总结

文章介绍了北京大学刘忠范院士、林立研究员团队与剑桥大学毛博阳研究员在《Nature Chemical Engineering》期刊上发表的最新研究成果，即成功研制出石墨烯单晶晶圆的自动化转移系统。该系统实现了石墨烯从铜生长衬底到硅衬底的全自动、高通量、可重复的转移，为石墨烯的产业化应用奠定了基础。

关键观点总结

关键观点1: 石墨烯晶圆的可控制备与转移的重要性

石墨烯晶圆的可控制备已实现产业化，但其转移到目标衬底上的过程仍是制约其规模化应用的关键难题之一。解决这一难题对于石墨烯在电子、光电和传感等领域的应用至关重要。

关键观点2: 自动化转移系统的研究成果

研究团队成功研制出石墨烯单晶晶圆的自动化转移系统，实现了石墨烯从铜生长衬底到硅衬底的全自动、高通量、可重复的转移流程。

关键观点3: 自动化转移系统的特点与优势

该自动化转移系统在保证石墨烯性能的同时，大幅提升了转移效率，降低了手工操作带来的不确定性。研究团队使用金属铝作为转移介质，使用氧化铝薄膜降低转移介质与石墨烯的粘附力，通过调控界面力成功实现转移介质从石墨烯表面的直接剥离去除。

关键观点4: 该自动化转移系统的应用与表征

自动化转移系统实现了晶圆级石墨烯的无损、批量化、自动化转移，日均转移产能高达180片晶圆。经表征，4英寸石墨烯晶圆的转移完整度高达99%，平均载流子迁移率为14,125 cm²/V·s。此外，该自动化转移工艺在能耗、成本和环保等方面也表现出显著优势。

免责声明