量化和缓解扫描电镜（SEM）中的碳污染

主要观点总结

本文讨论了电镜研究中电子束诱导的碳污染问题，介绍了测量污染厚度的方法，分析了污染随电子能量、束流和总剂量的变化，并测试了烘烤、等离子清洗和电子束清洗等减轻污染的策略。研究发现，高束流、高剂量率和低电子能量有利于减少污染，而电子束清洗是最有效的短期策略，等离子清洗是持久且有效的选择，但需要注意其可能导致的样品损坏。

关键观点总结

关键观点1: 电子束诱导的碳污染问题

在电镜研究中，电子束会诱导碳污染，覆盖感兴趣的结构并降低分辨率，导致荷电和干扰分析。

关键观点2: 污染测量方法

文中介绍了使用HAADF成像来定量测定污染厚度的方法，并分析了污染随电子能量、束流和总剂量的变化。

关键观点3: 污染缓解策略

测试了烘烤、等离子清洗和电子束清洗等策略，发现电子束清洗短期内有效，等离子清洗是持久且有效的选择，但需注意样品损坏风险。

关键观点4: 污染的生长行为

研究了污染随电子能量、束流和总剂量的变化，发现高束流、高剂量率和低电子能量有利于减少污染。

关键观点5: 污染形态和影响因素

分析了污染形态和影响因素，包括前驱体限制和电子限制模式，以及电流和剂量率对污染的影响。