国产刻蚀设备又迎里程碑！

主要观点总结

中微公司宣布其刻蚀设备系列迎来新里程碑，Primo Menova 12寸金属刻蚀设备全球首台机成功付运。该设备可应用于金属Al线、Al块的刻蚀，是晶圆厂金属化工艺的主要设备之一。中微公司的刻蚀设备在性能、稳定性等方面满足高标准要求，可覆盖国内大多数的刻蚀应用需求，且该公司最近十年来在多种导体和半导体化学薄膜设备以及微观加工设备的开发上取得了显著进展。此外，公司在研发新产品方面的速度已显著加快，研发总投入也大幅增加。

关键观点总结

关键观点1: 中微公司Primo Menova 12寸金属刻蚀设备全球首台机成功付运

这是中微公司在等离子体刻蚀领域的又一自主创新，标志着该公司在此领域的领先地位。

关键观点2: 中微公司的刻蚀设备已广泛应用于国内外生产线

其CCP电容性高能等离子体刻蚀机和ICP电感性低能等离子体刻蚀机可覆盖国内95%以上的刻蚀应用需求，满足客户的各种严苛要求。

关键观点3: 中微公司设备在性能、稳定性等方面表现优秀

该公司设备在刻蚀均一性控制、高速率、高选择比及低底层介质损伤等方面表现优异，确保机台在高负荷生产中的稳定性与良率。

关键观点4: 中微公司加大研发力度并取得显著成果

公司最近十年在多种导体和半导体化学薄膜设备以及微观加工设备的开发上取得了进展。目前研发新产品的速度显著加快，研发总投入也大幅增加，2024年研发总投入达到24.5亿元，远高于科创板上市公司平均研发投入占收入比例的10%到15%。

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